VAT传输阀05312-LA24

采用 L-Motion 技术的 053 Transfer Insert 特别适用于蚀刻或 CVD 等腐蚀工艺。L-Motion 技术通过单轴气动执行器提供闸门的 L-motion。在这种 L 运动中，闸板垂直移动到关闭位置，与阀体没有任何接触，在last的运动中，它被水平推到闸阀座上，密封件同时以完全相同的压力接触闸板座。这不仅避免了任何摩擦和潜在的颗粒产生，还大限度地减少了密封磨损。

为了进一步减少颗粒的产生和活化，闸门配有硫化密封件。这是一种比标准 O 型圈密封更可靠、更耐用的密封解决方案，尽管标准 O 型圈密封作为选项提供。轴馈通采用高度耐用的金属焊接波纹管密封。

为了确保闸门的整个长度具有相同的密封水平，闸门配备了一个特殊的压杆。该条保证了浇口每个区域的密封压力均匀分布。

在断电的情况下，05.3可以气动锁定在关闭位置。

带 L-Motion 的 05.3 转换插件专为延长免维护操作而设计（≤ 3 百万次循环，直到NO.1次服务）。

053 系列已安装在各种半导体生产工艺中的数百个要求苛刻的应用中，证明了其可靠性。053 系列具有坚固的设计以及减少和易于维护的特点，在各个方面都令人信服。

在腐蚀性过程条件下可靠运行

L-Motion 技术可避免粒子产生和激活

用于均匀浇口压力分布的压杆

波纹管密封轴馈通

延长免维护周期

平稳、低冲击运动

正常运行时间长/性能不受限制

快速操作

运营成本低

半导体制造：已广泛应用于刻蚀、CVD、薄膜沉积等核心工艺模块，其无颗粒产生特性成为高洁净度工艺的标配。

真空镀膜与科研领域：在真空系统中提供可靠隔离，支持从实验室研发到量产线的全流程应用。