OKO变形镜MMDM 15-37

产品介绍

OKO变形镜MMDM 15-37是一款直径为15毫米、由37个执行器控制的微机械薄膜变形镜。

MMDM 15-37采用金属薄膜作为镜面材料，通过微机械加工（MEMS）工艺制成。薄膜的边缘固定在周围的框架结构上，下方有控制电极阵列。薄膜一般具有多层结构，包括电介质层、金属层、氮化硅层等，厚度一般为0.5~10微米。

当在薄膜下方的电极上施加电压时，电极和薄膜之间产生静电吸引，导致薄膜发生形变。通过在不同电极上施加不同电压（即不同的电压组合），可以使薄膜产生不同的形变，从而实现对波前的动态校正。

OKO变形镜MMDM（微机械薄膜变形镜）是采用MEMS工艺制造的静电驱动连续镜面变形镜，具有体积小、重量轻、功耗低、光学质量高、校正范围大、响应速度快、集成度高等特点，广泛应用于激光光束控制、腔内激光控制、实时大气校正、全息、光通信等领域。

体积小巧轻盈：MMDM 15-37体积小巧，重量仅为140克，便于集成到各种光学系统中。

功耗极低：由于仅靠静电吸引产生形变，驱动电流极小，因此虽然驱动电压达到上百伏，但消耗的电功率较低。实验中曾测量到40通道的MMDM在工作模式下功耗不超过1W，MMDM 15-37的功耗同样可忽略不计。

光学质量高：初始面形RMS偏差小于0.45微米（也有说法为小于9纳米，在10毫米孔径内），表面非常光滑，散射可以忽略不计。能够很好地拟合波前畸变曲面，对波前畸变进行校正。

大校正范围：总波前变形高达25微米，可以校正幅度高达3微米的Zernike 3阶和5阶像差，79通道的MMDM甚至可以纠正所有5阶的Zernike像差。

可承载高功率激光：镜面采用了金属和金属介电涂层，可承载功率高达1kW的高能激光。

零迟滞：MMDM 15-37不存在滞环（即hysteresis，又称滞洄、磁滞效应），形变重复性较好。根据控制电压和形变之间的定量关系，可以实现镜面形变的高精度控制，可用于前馈控制系统（无反馈控制）。

产地	荷兰
光孔形状	接近圆形。
光孔尺寸	直径15毫米。
镀膜材料	金属或金属+电介质。
执行器数目	37个。
控制电压	0~300V。
初始面形RMS偏差	小于0.45微米，也有说法为小于9纳米（在10毫米孔径内），表明其初始面形非常平整，光学质量高。
初始波前畸变	1.5个条纹@633nm，说明其初始波前质量较好。
反射率	在可见光波段大于89%，部分资料提到反射率可优化至更高水平，如99%的1060nm高反膜或550~1000nm（中心波长800nm）反射率98%的超宽带金属/电介质膜。
表面缺陷	镜面中心区域表面缺陷少于2处，确保光束质量不受明显影响。
变形镜中心max变形量	10微米，可实现较大幅度的波前校正。
总波前变形范围	高达25微米，能够校正幅度较大的波前畸变。
单个执行器max形变量	至少达到1000nm~1300nm，确保每个执行器都能有效贡献形变。
重量	140克，体积小巧轻盈，便于集成。
厚度	薄膜厚度一般为0.5~10微米，具体取决于技术实现。
功耗	极低，实验中曾测量到40通道的MMDM在工作模式下功耗不超过1W，MMDM 15-37的功耗同样可忽略不计。
热管理	镜面采用了金属和金属介电涂层，可承载功率高达1kW的高能激光，部分资料提到通过特殊设计可承受600W连续激光。
零迟滞	不存在滞环，形变重复性较好，可根据控制电压和形变之间的定量关系实现高精度控制。

激光系统：MMDM 15-37可用于激光束的动态波前校正，提高激光束的质量和聚焦能力。在激光加工、激光通信等领域有广泛应用。

望远镜系统：在天文望远镜中，MMDM 15-37可以校正大气扰动引起的波前畸变，提高成像分辨率和清晰度。

眼科设备：在眼科自适应光学系统中，MMDM 15-37可用于校正人眼像差，提高视网膜成像质量，为眼科疾病的诊断和治疗提供有力支持。

显示器和成像光学：MMDM 15-37还可用于显示器和成像光学中的低阶光学像差（如散焦、像散、彗差等）的快速动态校正，提高成像质量和显示效果。