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压电辅助电机是一种能够实现大行程(长行程)、高分辨率且高推力的电机。PAM3-6.5和PAM6-13的输出推力分别为13 N和29 N。另一方面,PAM3-6.5和PAM6-13的位移量分别为6.5 mm和13 mm,分辨率分别在30 nm和25 nm以下。由于体积小巧,仅比名片稍大,因此便于携带,使用方法也简单。驱动时,请使用专用控制器(PAMC-104)及专用软件。产品附带专用电缆(2 m)。实现手动位移台的自动化,迈向更合理、更有效的生产制造场景。小型压电驱动器,其定位精度小于 30 nm,只需将手动位移台的微米头替换为压电螺钉促动器,即可实现更高精度的位移。
不回撤
定位在断电后仍可保持
定位精度小于 30 nm
支持手柄操作,也支持软件操作
软件可嵌入,支持二次开发
结合数据反馈,可实现自动调整

PAM3-6.5:平板型,3 mm,Min行程 30 nm,安装部 φ6 柄部
PAM6-13:R型,6.5 mm,Min行程 25 nm,安装部 φ9.5 柄部
PAMC-104:压电辅助电机控制器,4轴,RS232C通信
PAM-RC100:压电辅助电机控制器(遥控器)
PAMC-204:压电辅助电机控制器,4轴,RS485通信,USB

转子、螺杆与旋钮作为一个整体相连,同时与联动装置夹紧。当压电陶瓷材料发生伸展时,联动装置 A 和联动装置 B 会产生前后移动,利用转子与联动装置之间的摩擦力来实现间歇式前进。若加速度产生的惯性力小于静摩擦力,则发生旋转;若大于静摩擦力,则发生滑动。
多轴位移台
双轴镜架(θ1 轴/θ2 轴)
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产地 |
日本 |
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位移精度 |
< 25 nm |
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Max负载 |
≤ 30 N |
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Max驱动频率 |
1500 Hz |
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Max速度 |
≥ 1.5 mm/min |
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行程 |
≥ 13 mm |
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安装接头螺纹规格 |
M 9×0.5 |
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连接器接口 |
SMB |
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工作温度 |
10 至 40 ℃ |
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存放温度 |
5 至 40 ℃ |
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环境湿度 |
10 至 80 %RH(无凝结现象) |
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寿命 |
>10 亿次驱动频率 |
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尺寸 |
61×31×15.1 mm |
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重量 |
50 g |

科学研究、工业用途(显微镜扫描、高通量显微镜、高分辨率显微镜、微操作、生物技术、干涉仪形状测量、光罩/晶圆定位、测量技术)