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MECHANO TRANSFORMER压电辅助电机PAM6-13
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MECHANO TRANSFORMER压电辅助电机PAM6-13

产品介绍

压电辅助电机是一种能够实现大行程(长行程)、高分辨率且高推力的电机。PAM3-6.5和PAM6-13的输出推力分别为13 N和29 N。另一方面,PAM3-6.5和PAM6-13的位移量分别为6.5 mm和13 mm,分辨率分别在30 nm和25 nm以下。由于体积小巧,仅比名片稍大,因此便于携带,使用方法也简单。驱动时,请使用专用控制器(PAMC-104)及专用软件。产品附带专用电缆(2 m)。实现手动位移台的自动化,迈向更合理、更有效的生产制造场景。小型压电驱动器,其定位精度小于 30 nm,只需将手动位移台的微米头替换为压电螺钉促动器,即可实现更高精度的位移。

性能特点

不回撤

定位在断电后仍可保持

定位精度小于 30 nm

支持手柄操作,也支持软件操作

软件可嵌入,支持二次开发

结合数据反馈,可实现自动调整

选型指南

PAM3-6.5:平板型,3 mm,Min行程 30 nm,安装部 φ6 柄部

PAM6-13:R型,6.5 mm,Min行程 25 nm,安装部 φ9.5 柄部

PAMC-104:压电辅助电机控制器,4轴,RS232C通信

PAM-RC100:压电辅助电机控制器(遥控器)

PAMC-204:压电辅助电机控制器,4轴,RS485通信,USB

产品结构与细节

转子、螺杆与旋钮作为一个整体相连,同时与联动装置夹紧。当压电陶瓷材料发生伸展时,联动装置 A 和联动装置 B 会产生前后移动,利用转子与联动装置之间的摩擦力来实现间歇式前进。若加速度产生的惯性力小于静摩擦力,则发生旋转;若大于静摩擦力,则发生滑动。

可选功能与配件

多轴位移台

双轴镜架(θ1 轴/θ2 轴)

技术参数

产地

日本

位移精度

< 25 nm

Max负载

≤ 30 N

Max驱动频率

1500 Hz

Max速度

≥ 1.5 mm/min

行程

≥ 13 mm

安装接头螺纹规格

M 9×0.5

连接器接口

SMB

工作温度

10 至 40 ℃

存放温度

5 至 40 ℃

环境湿度

10 至 80 %RH(无凝结现象)

寿命

>10 亿次驱动频率

尺寸

61×31×15.1 mm

重量

50 g

产品尺寸

产品应用

科学研究、工业用途(显微镜扫描、高通量显微镜、高分辨率显微镜、微操作、生物技术、干涉仪形状测量、光罩/晶圆定位、测量技术)


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